研究人员提出了一个紧凑的阻尼环，其周长约为160米，可产生千瓦级相干的极紫外辐射。研究人员使用角色色散诱导的微束聚束技术实现了微束的纳秒级持续时间，从而在极紫外和软X射线波长范围内实现了微束。通过利用角色散引起的微束团聚方法对储存环中的电子束进行调制，结合先进的加速器和激光技术，可以实现平均功率约为2.5千瓦的13.5纳米相干辐射。通过注入具有小角度发散的电子束来实现大的束聚因子。通过与外部激光的相互作用，电子束在辐射器中产生时间相干辐射，并在M和D-M中与相同的电子束相互作用以消除能量调制。最终，他们成功地实现了高效的极紫外辐射发生。这项研究为光刻技术的发展提供了新的可能性。
https://www.nature.com/articles/s41598-022-07323-z

Nature

A synchrotron-based kilowatt-level radiation source for EUV lithography

Scientific Reports - A synchrotron-based kilowatt-level radiation source for EUV lithography